微型集成式固体电解质环境监测气体传感器

发布时间:2023-11-03 来源:鄂尔多斯科技成果转化平台
  • 持有单位:西安交通大学国家技术转移中心
  • 联系电话:
  • 邮编:
  • 转让方式:其他
  • 技术应用领域:其他
  • 技术成熟度:
  • 对接人:
  • 状态:成果发布
服务承诺
产权明晰
资料保密
如实描述
安全保障
我要联系
梁小进:15229365531
李敬宇:19139288038

成果介绍

微型集成式固体电解质环境监测气体传感器

负责人:王海容

所在学院:机械工程学院

一、项目简介

随着工业化进程的加速推进,人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增,而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重,对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器,结合先进的MEMS 和镀膜技术,对于 CO2SO等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。项目以 Li3PO4Li3PO4-Li2SiO薄膜固体电解质薄膜作为导电介质,研制CO2SO等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的 CO2SO气体传感器的响应原理分析,设计了集成式环境监测气体传感器,选择了合适的反应电极材料,结合 MEMS 薄厚膜工艺,采用热阻蒸发镀膜工艺沉积 Li3PO固体电解质薄膜,丝网印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极,完成了集成式微型CO2SO气体传感器的研制、封装、测试,为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现 CO和 SO气体的高精度监测,并具有体积小、功耗低、成本低的特点。

图 1 封装的气体传感器

图 2 批量化加工的气体传感器芯片
二、技术指标(性能参数)

三、市场前景及应用

在诸多大气污染物中,CO2 与 SO2 是引起气候变化和雾霾的主要污染源,其主要产生于各种金属的冶炼、石油化工产品的加工、工业及民用燃料的燃烧、各类机动车尾气的排放,对环境造成了严重的危害。由于此类污染性气体的危害迫在眉睫,因而对 CO2SO气体的实时、快速、有效检测,以及根据检测结果采取相应防治控制措施非常有必要。由此可见,随着我国对环境保护治理的重视,将对高性能低成本的气体传感器具有紧迫而巨大的需求。


×
发送意向

申请须知:申请人无需注册账号即可提交交易意向,交易意向一经提交不可查询或更改,请准确填写相关信息;平台运营人员将在3-5个工作日内查看交易意向并与您联系,感谢阅读。