白光干涉仪(光学轮廓仪)
团队负责人:刘涛
依托单位:西安交通大学
所在学院:机械学院
一、项目简介
Xshape-I 系列白光干涉仪是一款完全国产化的高端光学无损 3D 检测仪器,针对微纳结构、几何关键尺寸、粗糙度和表面轮廓等。目前在高端制造业应用有:半导体晶圆检测、超精密光学元件制造、微机电系统 MEMS 检测、高端机械装备制造、微电子表面涂层、薄膜制造等。
三、软件介绍
Xshape-I 系列白光干涉仪配备 WLI 白光干涉分析软件,软件依据面粗糙度标准 ISO25178,线粗糙度标准 ISO4287,以及几何技术规范 ISO12781。软件集成自动化控制,图像采集以及数据处理与测量功能,采用 VSI 和 PSI 两种表面三维形貌算法,可以满足于各种微纳表面三维轮廓的检测,例如:机械加工的粗糙面,研磨抛光或者腐蚀的表面,光刻表面,晶圆表面,光学抛光表面,纳米压痕表面等。
软件特点:
1. 软件操作简便,易学易用,实用性强
2. 包括 VSI 和 PSI 两种三维形貌检测算法
3. 可以方便快捷检测多种类型表面的形貌相关参数
4. 具有自动三维图像拼接功能
软件功能:
1. 相机打开,以及相机的参数设置
2. 物镜扫描器的设置以及控制
3. XY 工作台以及 Z 轴调焦的移动控制与设定
4. 软件具有 VSI 和 PSI 两种算法功能,以针对不同形貌表面的检测
5. 软件采集图像完成后可自动计算出表面三维形貌
6. 自动计算出面粗糙度参数。划线选择分析截面的位置,计算出截面位置的轮廓参数
7. 可测量单一视场的三维形貌,也可通过图像拼接实现大范围的三维形貌检测
8. 软件有图像的调整,滤波,轮廓提取,噪声拟制等数据处理功能
9. 表面三维形貌的解包裹,以及三维形貌的调平
10. 三维轮廓截面的提取,以及形貌的参数的检测
申请须知:申请人无需注册账号即可提交交易意向,交易意向一经提交不可查询或更改,请准确填写相关信息;平台运营人员将在3-5个工作日内查看交易意向并与您联系,感谢阅读。