白光干涉仪（光学轮廓仪）

团队负责人：刘涛

依托单位：西安交通大学

所在学院：机械学院

一、项目简介

Xshape-I 系列白光干涉仪是一款完全国产化的高端光学无损 3D 检测仪器，针对微纳结构、几何关键尺寸、粗糙度和表面轮廓等。目前在高端制造业应用有：半导体晶圆检测、超精密光学元件制造、微机电系统 MEMS 检测、高端机械装备制造、微电子表面涂层、薄膜制造等。

三、软件介绍

Xshape-I 系列白光干涉仪配备 WLI 白光干涉分析软件，软件依据面粗糙度标准 ISO25178,线粗糙度标准 ISO4287,以及几何技术规范 ISO12781。软件集成自动化控制，图像采集以及数据处理与测量功能，采用 VSI 和 PSI 两种表面三维形貌算法，可以满足于各种微纳表面三维轮廓的检测，例如：机械加工的粗糙面，研磨抛光或者腐蚀的表面，光刻表面，晶圆表面，光学抛光表面，纳米压痕表面等。

软件特点：

1. 软件操作简便，易学易用，实用性强

2. 包括 VSI 和 PSI 两种三维形貌检测算法

3. 可以方便快捷检测多种类型表面的形貌相关参数

4. 具有自动三维图像拼接功能

软件功能：

1. 相机打开，以及相机的参数设置

2. 物镜扫描器的设置以及控制

3. XY 工作台以及 Z 轴调焦的移动控制与设定

4. 软件具有 VSI 和 PSI 两种算法功能，以针对不同形貌表面的检测

5. 软件采集图像完成后可自动计算出表面三维形貌

6. 自动计算出面粗糙度参数。划线选择分析截面的位置，计算出截面位置的轮廓参数

7. 可测量单一视场的三维形貌，也可通过图像拼接实现大范围的三维形貌检测

8. 软件有图像的调整，滤波，轮廓提取，噪声拟制等数据处理功能

9. 表面三维形貌的解包裹，以及三维形貌的调平

10. 三维轮廓截面的提取，以及形貌的参数的检测