产品的核心技术是光腔衰荡光谱法,仪器的监测精度可达到1×10-9以上,主要用于气体中痕量元素的检测。技术领先国际,并填补了国内空白。仪器的应用领域包括半导体制造业,液晶平板显示器(LCD)、光电子器件(LED)制造业,太阳能光伏产业,气体制造工业,化学工业,电力系统,国家计量系统,科研机构,环保行业等。产品推出后不再依赖进口,并打入国际市场。目前已进入华为、法液空、空气化工、中芯国际等供应商的名单。
【产品图片】
图1 高灵敏度气体分析仪
图2 仪器的硬件电路板
图3 软件控制主界面
图4 光腔及支撑件
【与国外同类技术产品对比情况】
技术对比情况:相当
价格对比情况:低于
国外技术产品厂家及名称:美国虎威光学(TIGER OPTICS)公司
【技术指标】
1.检测精度0.2×10-9
2.背景气体:氮气、氦气、氩气、氧气、氢气等
3.检测下限小于1.0×10-9
4.响应速度:T90小于60秒
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